無(wú)油分子泵機組的設計計劃
正常分子泵機組的設計是單氣路,如圖4所示。作業(yè)內中是:①啟動(dòng)前級電泵P2使真空室內氣體通過(guò)聯(lián)接管路—分子泵—聯(lián)接管路—電泵,而后排到大氣。②當分子泵前級達成分子泵啟動(dòng)壓強時(shí)啟動(dòng)分子泵,真空室內氣體同樣通過(guò)聯(lián)接管路—分子泵—聯(lián)接管路—電泵,而后排到大氣。在前中①中,分子泵沒(méi)有啟動(dòng),僅起到一個(gè)管路的作用,但因為分子泵存在多層渦輪型葉片的簡(jiǎn)單構造,增大了電泵的流阻,同聲也就注定增多了抽氣工夫。而關(guān)于前級是有油旋片泵的分子泵機組,分子泵的這種構造起到擋油作用,大大縮小了電泵的返油。有油分子泵機組上的分子泵須要定計蕩滌就是所以某個(gè)起因。
圖4 單氣路聯(lián)接分子泵機組示用意
關(guān)于本套機組而言,那末采納正常氣路設計計劃,在干泵粗抽時(shí),氣體要先通過(guò)兩個(gè)構造簡(jiǎn)單、流阻大的分子泵能力排到大氣,關(guān)于較大的零碎采納這種計劃抽氣工夫較長(cháng),是不行取的。咱們充足利用干泵不會(huì )對真空零碎造成油凈化的長(cháng)處,又利用1By6型干泵的大抽速性能,對原有氣路增多了一套旁路(見(jiàn)圖5),作業(yè)內中是:①開(kāi)啟閥門(mén)V1、V2,啟動(dòng)干泵P3,開(kāi)啟低真空計G2,抽除真空室及兩個(gè)分子泵中的氣體;②當低真空計G2的批示達成100Pa時(shí),開(kāi)放閥門(mén)V2,啟動(dòng)牽引分子泵P2,開(kāi)啟真空計G1;③待達成ATP100的啟動(dòng)壓強后,開(kāi)啟渦輪分子泵P1。
圖5 帶旁路分子泵機組氣路示用意
泵間配總計算
白文以N2為例繼續劃算,通過(guò)圖5中帶旁路設計的作業(yè)內中①②,依據圖2(P2的抽速曲線(xiàn)),可劃算最大排器量為Q=300Pa·L/s,又依據P2的最大出氣口壓力務(wù)求,可劃算出P2需前級泵的抽速S干>0.075L/s;由干泵抽速曲線(xiàn)圖3①可知,干泵不僅能滿(mǎn)足務(wù)求而且有很大的剩余。開(kāi)啟冷規,當冷規激起并作業(yè)畸形后,此時(shí)真空度進(jìn)入0.1Pa便啟動(dòng)渦輪分子泵P1,再依據P1的抽速曲線(xiàn)劃算出最大排器量為Q=9Pa·L/s,再由P1最大出氣口壓力務(wù)求劃算出牽引分子泵抽速S牽分>0.9L/s。從牽引分子泵抽氣曲線(xiàn)能夠得悉牽引分子泵抽速滿(mǎn)足務(wù)求但剩余不大。
聯(lián)接管路、儀器支架的設計及取舍
依據泵間配合的劃算串聯(lián)合BEPC的理論狀況設計了聯(lián)接管路及儀器支架,其特點(diǎn)重要體現在以次兩個(gè)上面。
①兩個(gè)分子泵及其電源、高真空計及規管裝置在一個(gè)儀器推車(chē)上,干泵裝置在另一個(gè)儀器車(chē)上,兩車(chē)就位后用漣漪管(兩端快卸卡箍)聯(lián)接。那樣就防止了干泵運行時(shí)的強烈震撼莫須有分子泵及真空計作業(yè)。另外由劃算知,干泵作牽引分子泵前級抽速剩余較大,漣漪管上的抽速破財不會(huì )對機組運行造成太大莫須有。
②充足利用兩分子泵體積小、分量輕、裝置位置靈敏的長(cháng)處,使渦輪分子泵正向垂直裝置,牽引分子泵反向垂直裝置。那樣就能夠升高機組的高低且儀器推車(chē)的打造也絕對容易。因為牽引分子泵作渦輪分子泵的前級抽速剩余不大,因而兩泵之間用適當尺寸的三通聯(lián)接(其中一通為檢漏儀預留),那樣能夠縮小管路上的抽速破財。
下結論：
經(jīng)過(guò)正當的設計聯(lián)接,最大限度地施展了各泵的長(cháng)處,使聯(lián)接后的機組失去很好的運用。另外,因為干泵耐可凝性氣體的威力較差,在運用中要留神蕩滌原來(lái)運用過(guò)有油電泵的被抽室。當干泵抽過(guò)定然單位曾裸露過(guò)濕度較高的大氣的被抽室,干泵的極限真空就會(huì )上升。當這種狀況產(chǎn)生時(shí),咱們經(jīng)過(guò)試驗下結論出一個(gè)教訓,克服了泵室中的潮氣子含量較高的問(wèn)題,普及了泵的極限真空。因而,那末有條件的話(huà),毀壞真空時(shí)最好對被抽室充干澀氮氣。那末高真空泵為冷凝泵就會(huì )大大縮小這種狀況。
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